В основу отримання вакууму можуть бути покладені два принципи: перший – видалення газу з судини, що відкачується, за межі вакуумної системи, другий – зв'язування газу в вакуумної системі. Перший принцип реалізований у газопереміщуючих насосах.
Для отримання такого високого вакууму використовуються спеціальні насоси (крім того, створення надвисокого вакууму необхідно використовувати системи, що прогріваються зі спеціальними тефлоновими або металевими прокладками). Для отримання високого та надвисокого вакууму використовується комбінована відкачування.
Вакуум (Від лат. vacuus – Порожнеча) – простір, вільний від речовини. У техніці та прикладній фізиці під вакуумом розуміють середовище, що складається з газу при тиску значно нижче за атмосферне.