Тільки окремо, у три слова. Причина такого написання – вираз має закінчену конструкцію із іменника, вказівного займенника та прийменника.
Досі – прислівник; «до» – прийменник, «цих»- вказівний займенник (використовується у значенні «цих»); прийменники з займенниками пишуться окремо.
Словосполучення «досі» є стійким, та його правопис слід просто запам'ятати.
ФРАЗА, -и, ж. 1. Закінчене висловлювання.